悬隔膜材料和制造工艺技术

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悬隔膜材料和制造工艺技术

更新时间：2025-09-11

- 悬隔膜材料和制造工艺技术
- 暂无标题
- 传感器与微系统 1996年第2期页码：14
- 作者机构：
  
  中国科学院上海冶金研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号： TB38
- 纸质出版：1996
- 稿件说明：
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郑养. 悬隔膜材料和制造工艺技术[J]. 传感器与微系统, 1996,(2):14.
郑养. 悬隔膜材料和制造工艺技术[J]. 传感器与微系统, 1996,(2):14. DOI：

DOI：

摘要

综合分析比较了各种微传感器中悬隔膜材料和制造工艺技术的优缺点，从中选择工艺简单易行、性能稳定可靠以及与微电子技术相容的微传感器悬隔膜材料和制造工艺技术，以便提高微传感器成品率．

Abstract

关键词

Keywords

references

黄庆安,秦明,张会珍,童勤义.用<111>硅的自停止腐蚀方法制作硅膜[J].传感器技术,1994(02).

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