纸质出版:1996
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四价金属元素锆(Zr)对氧化铁薄膜气敏特性的影响[J]. 传感器与微系统, 1996,(2):6.
四价金属元素锆(Zr)对氧化铁薄膜气敏特性的影响[J]. 传感器与微系统, 1996,(2):6. DOI:
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对用常压化学气相淀积(APCVD)工艺制备的纯α-Fe2O3薄膜和掺锆(Zr)α-Fe2O3薄膜的气敏特性进行了研究。实验表明掺Zr是改善α-Fe2O3薄膜材料气敏特性的一种有效途径。
马晓翠,阎大卫,邹慧珠.SnO_2/Fe_2O_3多层薄膜与SnO_2单层薄膜特性差异的研究[J].半导体学报,1991(07).
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