详细介绍了双框架结构的硅微型机械振动陀螺的工作原理及工艺，设计并试制出了挠性轴厚度为０．８μｍ的三种不同尺寸的双框架结构的硅微型机械振动陀螺的样品，其机械结构的主要尺寸误差可控制在１０％以内。