微系统技术（连载六）─性能与测试

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微系统技术（连载六）─性能与测试

更新时间：2025-09-11

- 微系统技术（连载六）─性能与测试
- 暂无标题
- 传感器与微系统 1996年第3期页码：18
- 作者机构：
  
  东北传感技术研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：1996
- 稿件说明：
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张光照. 微系统技术（连载六）─性能与测试[J]. 传感器与微系统, 1996,(3):18.
张光照. 微系统技术（连载六）─性能与测试[J]. 传感器与微系统, 1996,(3):18. DOI：

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摘要

简要介绍了利用新型干涉仪测量微机械零件表面粗糙度的原理和方法，加载结构动摩擦系数测量，微系统器件残余应力分析和半导体器件表面电位测量。

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