硅微加速度传感器的现状及研究方向

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硅微加速度传感器的现状及研究方向

更新时间：2025-09-11

- 硅微加速度传感器的现状及研究方向
- 暂无标题
- 传感器与微系统 1995年第5期页码：1
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家教委博士点基金
- DOI：
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：1995
- 稿件说明：
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硅微加速度传感器的现状及研究方向[J]. 传感器与微系统, 1995,(5):1.
硅微加速度传感器的现状及研究方向[J]. 传感器与微系统, 1995,(5):1. DOI：

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综述了典型的硅微加速度传感器的原理、结构和特性，分析了硅微加速度传感器中的几项关键技术和研究方向。

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