纸质出版:1995
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压力传感器半导体薄膜电桥优化设计[J]. 传感器与微系统, 1995,(6):6.
压力传感器半导体薄膜电桥优化设计[J]. 传感器与微系统, 1995,(6):6. DOI:
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在压力传感器芯片中,可由半导体淀积膜制作惠斯登电桥,其四臂电阻位置要满足对等、平衡、对称的要求。以往设计难免重复计算,试探盲目性大。本文经计算机优化为图、表,可以一步到位。
何宇亮,武旭辉,王珩,林鸿溢,李冲.纳米硅薄膜的压阻效应[J].科学通报,1995(07).
牛德芳 编著.力学量敏感器件及其应用[M].科学出版社,1987.
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