CMOS磁敏器件的研究

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CMOS磁敏器件的研究

更新时间：2025-09-11

- CMOS磁敏器件的研究
- 暂无标题
- 传感器与微系统 1995年第5期页码：3
- 作者机构：
  
  东南大学微电子中心，东南大学半导体器件与微电子学教研室
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：1995
- 稿件说明：
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沈克强. CMOS磁敏器件的研究[J]. 传感器与微系统, 1995,(5):3.
沈克强. CMOS磁敏器件的研究[J]. 传感器与微系统, 1995,(5):3. DOI：

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摘要

分析了ＣＭＯＳ磁敏器件的敏感机理，给出了灵敏度表达式，并对其单元ＳＤ－ＭＯＳＦＥＴ结构进行了数值模拟，实验结果与理论分析相一致。

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