微系统技术（连载一）─—微系统技术概况

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微系统技术（连载一）─—微系统技术概况

更新时间：2025-09-11

- 微系统技术（连载一）─—微系统技术概况
- 暂无标题
- 传感器与微系统 1995年第4期页码：19
- 作者机构：
  
  东北传感技术研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：1995
- 稿件说明：
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张光照. 微系统技术（连载一）─—微系统技术概况[J]. 传感器与微系统, 1995,(4):19.
张光照. 微系统技术（连载一）─—微系统技术概况[J]. 传感器与微系统, 1995,(4):19. DOI：

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简要介绍微系统的含义，主要工艺、发展历史、现状和发展前景。

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