北京理工大学
纸质出版:1995
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张家跃. ZnO薄膜的研制[J]. 传感器与微系统, 1995,(2):3.
张家跃. ZnO薄膜的研制[J]. 传感器与微系统, 1995,(2):3. DOI:
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介绍了用改造直流四极磁控溅射台的方法研制ZnO薄膜的设备、工艺条件,及其对薄膜性能的影响。
张鹰.ZnO薄膜的成分与电阻率的关系[J].电子元件与材料,1986(04).
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