硅压力传感器的新技术

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硅压力传感器的新技术

更新时间：2025-09-11

- 硅压力传感器的新技术
- 暂无标题
- 传感器与微系统 1995年第1期页码：16
- 作者机构：
  
  福州大学
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：1995
- 稿件说明：
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冯景星. 硅压力传感器的新技术[J]. 传感器与微系统, 1995,(1):16.
冯景星. 硅压力传感器的新技术[J]. 传感器与微系统, 1995,(1):16. DOI：

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摘要

在研制压阻式扩散硅压力传感器中，除了采用常规的平面工艺以外，还需要几项特殊的、重要的新技术、新工艺，简要地论述真空静电封接技术、异向蚀刻技术以及减少层错的三氯乙烯氧化工艺等．

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