多晶硅敏感技术（连载七）

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多晶硅敏感技术（连载七）

更新时间：2025-09-11

- 多晶硅敏感技术（连载七）
- 暂无标题
- 传感器与微系统 1995年第1期页码：19
- 作者机构：
  
  东北传感技术研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：1995
- 稿件说明：
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王善慈. 多晶硅敏感技术（连载七）[J]. 传感器与微系统, 1995,(1):19.
王善慈. 多晶硅敏感技术（连载七）[J]. 传感器与微系统, 1995,(1):19. DOI：

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摘要

多晶硅敏感技术（连载七）王善慈（东北传感技术研究所）ＳｅｎｓｉｎｇＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙＢａｓｅｄｏｎＰｏｌｙｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅＳｉｌｉｃｏｎ（ＳｅｒｉａｌＳｅｖｅｎ）￥ＷａｎｇＳｈａｎｃｉ（ＮｏｒｔｈｅａｓｔＣｈｉｎａＲｅｓｅａｒｃｈＩｎｓｔｉｔ...

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